玻璃通孔(TGV)

Through Glass Via(TGV)

技術規格展示

參數 TGV規格
材料 玻璃、石英等
晶圓尺寸 4”、6”、8”、12
最小厚度 0.2mm(<6)、0.3mm(8)、0.35mm(12)
最小孔徑 20μm
通孔斜度 3~8°
通孔間距 50μm、100μm、150μm等
最大深寬比 1:10
金屬鍍層 可加工

* 備注:可以根據客戶需求定制


參數 TGV規格
材料 玻璃、石英等
晶圓尺寸 4”、6”、8”、12
最小厚度 0.2mm(<6)、0.3mm(8)、0.35mm(12)
最小孔徑 20μm
通孔斜度 3~8°
通孔間距 50μm、100μm、150μm等
最大深寬比 1:10
金屬鍍層 可加工

* 備注:可以根據客戶需求定制


用途

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